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GDM-3100型便攜式半導體行業特氣檢測儀
一、產品介紹
氣體泄漏檢測的延遲會對工廠財產、環境和人員生命構成巨大威脅。GDM-3100型便攜式半導體行業特氣檢測儀采用先進的智能傳感器技術能偵測到40多種氣體，包括硅烷、磷烷、氨氣、三氟化氮和其他半導體特氣。高可靠性的特氣檢測儀監控系統，提高工廠的安全性和生產力。
二、產品特點
1.操作簡單
只需要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體
2.即插即用
盒式傳感器單元內置CPU，即插即用無需現場校準
3.提質增效
大幅削減成本和維護時間
三、技術參數
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主要參數 |
參數范圍 |
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尺寸（長寬高） |
170mm×160mm×191.5mm＜5W（NDIR ＜8W） |
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重量 |
＜4kg |
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儀器功率 |
＜5W（NDIR ＜8W） |
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適配器工作電壓 |
220V,50HZ |
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POE工作電壓 |
48 VDC (符合 IEEE 802.3af) |
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電池工作電壓 |
24VDC，-15 to +10% |
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電池參數 |
三元聚合物鋰電池，84wh |
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充電時長 |
＜3小時 |
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采樣流量 |
500ml/min |
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采樣距離 |
＜30m，具體值取決于氣體類型 |
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工作溫度 |
0~40℃ |
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報警方式 |
內置式報警蜂鳴器及報警狀態指示燈 |
四、檢測氣體
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氣體名稱 |
化學式 |
測量量程 |
氣體名稱 |
化學式 |
測量量程 |
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氧氣 |
O2 |
0-25% vol |
溴 |
Br2 |
0-1ppm |
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氯化氫 |
HCl |
0-8ppm |
臭氧 |
O3 |
0-1ppm |
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氯氣 |
Cl2 |
0-2ppm |
光氣 |
COCl2 |
0-1ppm |
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氨氣 |
NH3 |
0-100ppm |
溴化氫 |
HBr |
0-10ppm |
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可燃氣體 |
combustible |
0-100%LEL |
三氯化硼 |
BCl3 |
0-10ppm |
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氫氣 |
H2 |
0-100%LEL |
二氯二氫硅 |
H SiCl 2 2 |
0-10ppm |
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乙烯 |
C H 2 4 |
0-100%LEL |
六氟化鎢 |
WF6 |
0-12ppm |
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丙烯 |
C H 3 6 |
0-100%LEL |
三氟化硼 |
BF3 |
0-8ppm |
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硫化氫 |
H S 2 |
0-40ppm |
乙硅烷 |
Si H 2 6 |
0-20ppm |
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一氧化碳 |
CO |
0-100ppm |
二氧化氯 |
ClO2 |
0-0.4ppm |
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氟化氫 |
HF |
0-12ppm |
三氟化氯 |
ClF3 |
0-1ppm |
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氫氣 |
H2 |
0-1000ppm |
氰化氫 |
HCN |
0-20ppm |
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硅烷 |
SiH4 |
0-20ppm |
三氟化氮* |
NF3 |
0-40ppm |
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磷烷 |
PH3 |
0-1ppm |
二氟甲烷* |
CH F 2 2 |
0-100ppm |
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砷烷 |
AsH3 |
0-0.2ppm |
六氟化硫* |
SF6 |
0-1000ppm |
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正硅酸乙酯 |
0-40ppm |
四氟化碳* |
CF4 |
0-1000ppm |
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氟 |
0-1ppm |
羰基硫* |
COS |
0-100ppm |