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GDM-2100型半導體行業特氣檢測儀
一、產品介紹
氣體泄漏檢測的延遲會對工廠財產、環境和人員生命構成巨大威脅。GDM-2100型半導體行業特氣檢測儀采用先進的智能傳感器技術能偵測到40多種氣體，包括硅烷、磷烷、氨氣、三氟化氮和其他半導體特氣。高可靠性的特氣檢測儀監控系統，提高工廠的安全性和生產力。
二、產品特點
1.采用內置采樣泵實現有毒氣體/氧氣泄漏快速響應
2.前面板磁鐵吸合，免開蓋工具，快速替換傳感器盒
3.所有型號均支持POE以太網供電
4.智能盒式傳感器，可離線校準標定
5.采用差壓傳感器來保持流量自動調節
6.長期穩定的品質與久經驗證的檢測原理
7.對于熱裂解氣體采用抗干擾的長壽命無耗材的NDIR傳感器檢測低于TLV（閾限值）的有毒氣體，表現優異性能
8.2.8寸LCD真彩顯示屏，顯示各種信息
9.支持24V DC供電和48VPoE供電
10.支持4-20mA 直流模擬信號輸出
11.全系支持Modbus TCP數據通信
12.2級濃度報警、一路故障報警與繼電器觸點輸出（觸點
13.狀態可通過跳線進行常開NO或常閉NC配置）
14.單人校準與維護
三、技術參數
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主要指標 |
參數范圍 |
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尺寸（配傳感器） |
124mm（H）*71mm（W）*160mm（D） |
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尺寸（配NDIR傳感器） |
209mm（H6*71mm（W）*215mm（D） |
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重量（配傳感器&NDIR） |
＜1kg ；配NDIR＜1.5kg |
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操作電壓 |
24VDC，-15 to +10% |
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以太網供電操作電壓 |
48 VDC PoE (符合IEEE 802.3af) |
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功耗 |
＜5W(配NDIR模塊＜7.5W) |
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可視信息 |
電源（綠）、報警1（紅）、報警2（紅）、故障（黃），實時氣體讀數和事件 |
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繼電器 |
一級報警、二級報警和儀器故障 5A 250VAC/30VDC 可配置的常開或常閉，上鎖或未上鎖 |
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模擬輸出 |
4-20mA輸出 |
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數字通訊 |
標準：Modbus/TCP以太網/以太網供電（POE）/無線 |
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服務端口 |
以太網 |
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氣體流量 |
500mL/min |
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氣體傳輸時間 |
2至20秒 最大值 |
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性能 |
LDL＜LAL LAL=1/2TLV（典型的12%FSD） FSD=4×TLV |
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采樣距離 |
≤30m |
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環境點監測 |
適用，配合過濾器 |
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排氣管長度 |
30m |
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進氣管規格 |
φ6 |
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排氣管規格 |
φ6 |
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工作溫度 |
0℃到40℃ |
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接線要求 |
4-20mA/DC電源/繼電器：14 AWG |
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數字通訊 |
RJ45連接器 |
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顯示 |
檢測值數字顯示，動態流向顯示及其他，4個按鍵操作 |
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遠程 |
PC端通過以太網訪問 |
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安裝方式 |
通過機身背后的安裝孔墻面安裝，可選配DIN導軌或垂直安裝支架 |
四、檢測氣體
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氣體名稱 |
分子式 |
測量量程 |
設備型號 |
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氧氣 |
O2 |
0-25% vol |
GDM-S-O2 |
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氯化氫 |
HCL |
0-8ppm |
GDM-S-HCL |
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氯氣 |
CL2 |
0-2ppm |
GDM-S-CL2 |
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氨氣 |
NH3 |
0-100ppm |
GDM-S-NH3 |
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可燃氣體 |
combustible |
100%LEL |
GDM-S-LEL |
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氫氣 |
H2 |
0-1000ppm |
GDM-S-H2 |
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硫化氫 |
H2S |
0-40ppm |
GDM-S-H2S |
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一氧化碳 |
CO |
0-100ppm |
GDM-S-CO |
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氟化氫 |
HF |
0-12ppm |
GDM-S-HF |
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砷烷 |
AsH3 |
0-0.2ppm |
GDM-S-AsH3 |
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硅烷 |
SiH4 |
0-20ppm |
GDM-S-SiH4 |
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磷烷 |
PH3 |
0-1ppm |
GDM-S-PH3 |
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硼烷 |
B2H6 |
0-0.4ppm |
GDM-S-B2H6 |
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三氯化硼 |
BCl3 |
0-10ppm |
GDM-S-HCL |
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二氯二氫硅 |
H2SiCl2 |
0-10ppm |
GDM-S-HCL |
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六氟化鎢 |
WF6 |
0-10ppm |
GDM-S-HF |
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三氟化氮* |
NF3 |
0-40ppm |
GDM-IR-NF3 |
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六氟丁二烯* |
C4F6 |
0-40ppm |
GDM-IR-C4F6 |
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六氟化硫* |
SF6 |
0-1000ppm |
GDM-IR-SF6 |
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二氟甲烷* |
CH2F2 |
0-100ppm |
GDM-IR-CH2F2 |